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亚洲必赢cc766net小课堂:什么是B-A真空计

信息来源:亚洲必赢cc766net 时间:2019-02-20 08:23:00 浏览次数:-

关于电离真空计,螺杆真空泵厂家亚洲必赢cc766net在《亚洲必赢手机登录常用真空计之电离真空计》中作了先容。因为涉及种类较多,所以只简单先容了一些原理、分类以及量程等。今天大家一起来认识其中一种用于超高真空测量的电离真空计——B-A真空计。

B-A真空计属于热阴极电离真空计。在先容电离真空计时,螺杆真空泵厂家提及过其是通过测量规管内的离子流大小来确定被测气体的压力。而普通的热阴极电离真空计测量下限超过10-6Pa时,栅极会产生软X射线。此射线会使离子收集极发生光电子发射,并且与其收集的离子等效,形成与压力无关的本底光电流,因为此热阴极电离真空计在测量时就表现为约10-6Pa的压力读数。这个时候要扩展热阴极电离真空计的测量下限,就需要消除这种本底光电流的影响。

于是贝阿德(Bayard)和阿尔伯特(Alpert)就提出了在传统的热阴极电离真空计基础上,从电极结构上减少离子收集极被软X射线辐照的面积,来降低光电流以及它带来的影响。改进后就是B-A真空计了(也有简称B-A规的)。如下面的图,相比于普通的热阴极电离真空计,B-A真空计将筒状的收集极改为细金属丝并置于栅状电子加速极内,以提高离子收集效率;灯丝则移至栅外,两根对称安装,一根工作一根备用。

B-A真空计结构

由于离子收集极的面积减少了100~1000倍,因此B-A真空计的测量下限也达到了10-8~10-9Pa。贝阿德与阿尔伯特当时用的直径0.2mm的细金属丝作为收集极,而目前可以达到4µm,因此测量下限最高可以达到10-10Pa。

与其他的热阴极电离真空计一样,B-A真空计的灵敏度与气体种类有关,不同结构尺寸的规管灵敏度也不同,因此准确测量前需要校准。不管如何,B-A真空计是目前使用最为广泛的超高真空计,常规测量范围从10-1~10-9Pa,在形式上还包括管式归和裸规。

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