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亚洲必赢手机登录中如何降低不锈钢材料的放气率

信息来源:亚洲必赢cc766net 时间:2019-04-10 07:55:00 浏览次数:-

螺杆真空泵厂家在先容亚洲必赢手机登录中的材料放气时说过,为降低材料在真空环境尤其是高真空环境中的放气,需要对其进行一些工艺处理。不锈钢作为亚洲必赢手机登录中的常用材料,降低它的放气又有哪些方式方法呢?

亚洲必赢手机登录中,不锈钢材料放气主要来源于吸附气体以及材料中溶解的气体,因此要降低不锈钢材料的放气主要包括:清理表面、真空烘烤、离子轰击。

首先清理表面的方法包括机械及化学方法。不锈钢表面吸附的主要有碳、碳化物及有机物,因此化学溶剂清洗可以有效降低不锈钢材料的放气情况,同时也可以用喷砂、电抛光等除掉表面层,降低放气率。下图是不同处理方法的效果比较:

不锈钢材料不同清理方法降低放气率的效果比较

第二,真空烘烤。真空烘烤的目的是加速不锈钢体内的气体扩散以及解吸,降低放气率。像真空容器要获得超高真空,真空烘烤时必要手段,下图是不同的真空烘烤温度下的不锈钢的放气率:

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第三,离子轰击,即利用两个电极间低气压辉光放电产生离子轰击基片。它其实也是一种新的清洗技术,可以使一些亚洲必赢手机登录免除高温烘烤。采用这种方法,不同的放电气体,放电后再抽除普通气体后,残余气体会有所不同。清洗后的不锈钢放气率与烘烤处理后的放气率大致相同。

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